測量范圍：0-10mm。
分辨力與精度：分辨力為 0.01μm，可通過計數器切換至 0.05μm、0.1μm、0.5μm、1μm。在 20℃時，示值誤差為 0.2μm，重復性為 0.1μm（2σ），回程誤差為 0.1μm。
測力：測桿朝下時，測力為 0.65N 以下；測桿水平時，測力為 0.55N 以下；測桿朝上時，測力為 0.45N 以下。
檢出方式：采用光電式反射型直線柵尺，常規測量時可檢測動作速度為 700mm/sec，峰值檢測時為 120mm/sec。
測微頭質量：約 370g。
測頭：標配硬質合金 S?3mm（M2.5（P=0.45）×5mm）標準測頭，裝夾套筒直徑為 ?15mm。
計數器規格：顯示范圍為 ±999.99999mm，具有置零、預設、方向切換、公差判斷（3 段 / 5 段）、RS-LINK 峰值保持功能等。接口包括 RS-232C、USB（SENSORPAK 專用）、Digimatic 輸出（打印機：DP-1VA LOGGER 專用）、I/O 連接器，可實現數據輸出與外部控制。
